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Nanostrukturierter CMOS-kompatibler Drucksensor

Theophano,
Taschenbuch
29,90 € Preisreferenz Lieferbar in 2-3 Tagen

Kurzbeschreibung

Parallel zu den Entwicklungen im Bereich der Mikroelektronik sind die Möglichkeiten der Sensorik sowohl durch die Miniaturisierung als auch durch die gleichzeitige Verbindung der Elektronik mit der Mechanik zu sogenannten Mikro-Elektro-Mechanischen-Systemen, kurz MEMS, regelrecht revolutioniert worden.
Als bedeutender Baustein dieser Technologie wird ein innovativer Drucksensor vorgestellt und dessen Herstellung mittels Nanostrukturierung demonstriert. Hierbei stehen die Analyse der möglichen Flächenoptimierung und die Erhöhung der Sensitivität gegenüber bestehenden Sensorkonzepten im Vordergrund.

Details
Schlagworte

Titel: Nanostrukturierter CMOS-kompatibler Drucksensor
Autoren/Herausgeber: Remigius Poloczek
Ausgabe: Neuausgabe

ISBN/EAN: 9783981549522

Seitenzahl: 126
Format: 23,1 x 15,6 cm
Produktform: Taschenbuch/Softcover
Gewicht: 456 g
Sprache: Deutsch

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