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Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik

Springer Berlin,
Buch
184,99 € Preisreferenz Lieferbar in 2-3 Tagen
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Kurzbeschreibung

In diesem Buch werden zunächst die verschiedenen Typen von Plasmen ausführlich beschrieben: Gleichstrom-Entladung, kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz, die magnetfeldunterstützte Anregung mittels Heliconwellen; schliesslich noch Ionenstrahlen. Breiten Raum nimmt dann die Plasmadiagnostik ein, die in einem separaten Kapitel mit vier Methoden exemplarisch vorgestellt wird. Daran anschliessend erfolgt eine umfassende Darstellung der beiden modernen Verfahren Sputtern und Trockenätzen, mit denen heute Oberflächen durch Beschichten und gezieltes Abtragen auf vielfältige Weise modifiziert werden. Besondere Aufmerksamkeit wird reaktiven Verfahren und den dort auftretenden Reaktionsmechanismen, aber auch der Ionenstrahlmethode, gewidmet. Zahlreiche Anwendungsbeispiele sind in den Text eingestreut. Für die Neuauflage wurde das Buch vollständig neu bearbeitet und aktualisiert. Hinzu kamen neue Kapitel über Plasmadiagnostik und hochdichte sowie induktiv-gekoppelte Plasmen.

Details
Schlagworte

Titel: Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik
Autoren/Herausgeber: Gerhard Franz
Ausgabe: 3. Aufl. 2004

ISBN/EAN: 9783540407652

Seitenzahl: 543
Format: 23,5 x 15,5 cm
Produktform: Hardcover/Gebunden
Gewicht: 2,140 g
Sprache: Deutsch

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