Erweiterte
Suche ›

Plasma Processing of Semiconductors

von
Buch
453,68 € Lieferbar in 2-3 Tagen
Dieses Produkt ist auch verfügbar als:

Kurzbeschreibung

Proceedings of the NATO Advanced Study Institute, Château de Bonas, France, 17-28 June 1996

Details
Schlagworte
Hauptbeschreibung

Titel: Plasma Processing of Semiconductors
Autoren/Herausgeber: Paul Williams (Hrsg.)
Aus der Reihe: NATO Science Series E
Ausgabe: Softcover reprint of the original 1st ed. 1997

ISBN/EAN: 9789401064866

Seitenzahl: 613
Format: 24 x 16 cm
Produktform: Taschenbuch/Softcover
Gewicht: 987 g
Sprache: Englisch

Plasma Processing of Semiconductors contains 28 contributions from 18 experts and covers plasma etching, plasma deposition, plasma-surface interactions, numerical modelling, plasma diagnostics, less conventional processing applications of plasmas, and industrial applications. Audience: Coverage ranges from introductory to state of the art, thus the book is suitable for graduate-level students seeking an introduction to the field as well as established workers wishing to broaden or update their knowledge.

buchhandel.de - Newsletter
Möchten Sie sich für den Newsletter anmelden?


Bitte geben Sie eine gültige E-Mail-Adresse ein.
Lieber nicht