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Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique

A Manual of Wet-Etched Silicon Structures

Springer Berlin,
Buch
160,49 € Lieferbar in 5-7 Tagen
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Details
Schlagworte

Titel: Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique
Autoren/Herausgeber: Joachim Frühauf
Ausgabe: Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2005

ISBN/EAN: 9783642060489

Seitenzahl: 222
Format: 23,5 x 15,5 cm
Produktform: Taschenbuch/Softcover
Gewicht: 367 g
Sprache: Englisch

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