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The Physics of Micro/Nano-Fabrication

Springer US,
Buch
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Kurzbeschreibung

In this revised and expanded edition, the authors provide a comprehensive overview of the tools, technologies, and physical models needed to understand, build, and analyze microdevices. Students, specialists within the field, and researchers in related fields will appreciate their unified presentation and extensive references.

Details
Schlagworte

Titel: The Physics of Micro/Nano-Fabrication
Autoren/Herausgeber: Ivor Brodie, Julius J. Muray
Aus der Reihe: Microdevices
Ausgabe: 1992

ISBN/EAN: 9780306441462

Seitenzahl: 622
Format: 25,4 x 17,8 cm
Produktform: Hardcover/Gebunden
Gewicht: 3,290 g
Sprache: Englisch

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